一、溶剂清理
溶剂清理是真空系统软件清理中更为广泛的一种方式。普遍的清理溶剂包含有机化学溶剂、含洗洁剂的水、稀碱、碱、石油分馏物、各种各样金属清洗剂这些。依据污染物的不一样，必须用不一样的溶剂开展清理。如矿物质植物油脂必须用有机化学溶剂，生锈物必须用酸碱性金属清洗剂等。
超声波清洗是运用超声波间隙功效来清理总体目标，能够完成较强的物理学清理功效，消除较强黏附污染物。超声波清洗能够进到繁杂的异型孔洞，是许多 清理方式没法完成的。超声波清洗在运用中，必须依据污染物的不一样，相互配合各种清理溶剂。
三、蒸气脱油清理
蒸气脱油清理适用对表层植物油脂膜和脂质膜的清理，操作步骤简易，能够完成大批清理。一些含有坚固附属物或环境污染比较比较严重的衬底在清洗或超声波清洗后，用蒸气脱油清理能够完成非常好的清理实际效果，常见于夹层玻璃物品清理的最后一步。
