真空法兰用于活动连接部位，或用于真空系统可拆卸部位。因法兰结合处的气密性在真空中至关重要，所以在机械加工时的法兰光洁度也需要着重考量，如果用显微镜去观察法兰，其表面上微小的高低起伏甚至凹痕或划痕，是导致法兰泄露的“罪魁祸首”，其漏率可达10-8Pa·L/s。所以，真空法兰一般选用不锈钢或低碳钢，密封面要求光滑、无裂痕、避免发生漏气。
真空法兰的六种主要形式为：
1.金属密封法兰
金属密封法兰一般用于压力低于10-7Pa的超高真空系统，要求密封材料耐200℃以上的高温烘烤。常用的密封材料有铝、铜、金等。
2.橡胶密封真空法兰
普通橡胶密封真空法兰广泛用于高、中、低真空金属系统中。如果用于超高真空系统，则需要用到另外形式的橡胶密封法兰。
3.氟橡胶超高真空法兰
氟橡胶超高真空法兰，顾名思义可用于超高真空系统，它采用氟橡胶密封圈，与导管需要采用双面焊接，并精加工，减少各类缺陷。
4.双重橡胶密封法兰
双重橡胶密封法兰主要用于避免橡胶材料的出气和渗漏影响，以实现超高真空的获得。通过中间冷却槽冷冻橡胶或中间抽真空来达到降低橡胶出气和减少渗漏的目的。
5.真空快卸法兰
真空快卸法兰主要用于高、中、低真空管路，又分夹紧型和拧紧型，通常用O型橡胶密封圈密封。
6.卡钳真空法兰
卡钳真空法兰同样用于高、中、低真空的管路连接，形式上有卡钳螺钉连接、卡钳垫块连接及卡钳螺栓连接。
