CF真空法兰的内侧有凸起的锋利刀口，通过挤压无氧铜垫圈(或其他软金属)使其变形而达到密封真空的目的，是全金属材料的密封方式，被广泛应用于超高真空系统中。CF真空法兰也常用ICF法兰来表示，CF后面的数字是标准的导管内径，而ICF后面的数字是法兰的外径。
CF真空法兰分为固定型和松套型两种。固定型法兰为一体化结构。松套型法兰由挤压铜垫圈的刀口部分和通过螺栓的固定部分构成。法兰上可开通孔或螺纹孔。开有通孔的法兰要通过螺栓和螺母固定;开有螺纹孔的法兰可直接使用螺栓固定。法兰的材质主要为SUS304(SUS304L)，因SUS304放出气体少，加工和焊接比较容易。CF真空法兰的特点是不分雌雄，包括无氧铜垫圈在内全部由金属构成，因此可以承受高温(250℃以上)烘烤。
