CF真空法兰的英文名是Conflat Flang。它是一种用于超高真空中的法兰连接，是一种金属静密封，可以承受高温烘烤。 CF真空接头是适用于超高真空场合的接头，公称
直径尺寸包括：DN16, 40, 63, 100, 160, 200, 250 制造标准包括：ISO 3669. 适用的真空度高达10-12mbar。 法兰密封材料通常为Viton、PTFE、铜等 法兰通常为
304、316不锈钢等 CF真空接头通常由法兰（flang）、铜圈(seal)组成。CF真空法兰是各种真空製程与真空设备的基础元件。因应真空的要求程度的不同，又分别被使
用于低真空、高真空与超高真空製程中。
CF真空法兰使用注意事项：
CF真空法兰使用时有几个注意点：螺栓一定要涂抹 MoS2，以免螺栓和螺母咬合卡死;法兰外周要对齐;法兰面要保持一点距离，为烘烤后继续上紧螺栓留出余地。
CF真空法兰中，刀口要切入金属密封圈来实现真空密封。长期使用，刀口会逐渐变钝。另外，受硬器碰撞后刀口容易受伤。这时的补救措施之一，是使用IPD金属密封圈。
IPD金属密封圈不依靠法兰的刀口，而依靠刀口外周的斜面来密封。
