CF真空法兰不仅密封性可观而且不怕高温的考验
CF真空法兰的内侧有凸起的尖利刀口，经过揉捏无氧铜垫圈(或其他软金属)使其变形而到达密封真空的意图，是全金属资料的密封方式，被广泛应用于超高真空体系中。CF真空法兰也常用ICF法兰来表明，CF后边的数字是规范的导管内径，而ICF后边的数字是法兰的外径。
CF真空法兰分为固定型和松套型两种。固定型法兰为一体化结构。松套型法兰由揉捏铜垫圈的刀口部分和经过螺栓的固定部分构成。法兰上可注册孔或螺纹孔。开有通孔的法兰要经过螺栓和螺母固定;开有螺纹孔的法兰可直接运用螺栓固定。法兰的材质主要为SUS304(SUS304L)，因SUS304放出气体少，加工和焊接比较简单。
CF真空法兰包括无氧铜垫圈在内悉数由金属构成，因而能够接受高温(250℃以上)烘烤。
CF真空法兰的装置：
CF真空法兰的装置要求较高。因为无氧铜垫圈被揉捏后会变形，所以用平等力气扭紧螺栓非常重要。假如螺栓用力不均匀，会使对角方位的法兰翘起，以至于漏气。扭紧螺栓的力矩大约如下：M4螺栓20kgf·cm，M6螺栓70kgf·cm，M8螺栓100kgf·cm。
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